波谱仪器全称为波长分散谱仪（WDS）。是利用波谱法对物质的成分和结构进行分析的仪器。在电子探针中，X射线是由样品表面以下m数量级的作用体积中激发出来的，如果这个体积中的样品是由多种元素组成，则可激发出各个相应元素的特征X射线。波谱仪器的突出优点是波长分辨率很高。此外，由于经过晶体衍射后，强度损失很大，所以，波谱仪器难以在低束流和低激发强度下使用，这是波谱仪器的两个缺点。
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